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SpecEI橢偏儀
SpecEI-2000-VIS橢偏儀用波長功能測量從基底表面反射的極化光用來確定厚度和折射材料指數(shù)。SpecEl可以用PC機(jī)控制。一鍵測量折射指數(shù)，吸光率和厚度。
一體化精密系統(tǒng)
SpecEl有完整的光源，一個(gè)光譜儀和兩個(gè)固定到70°的偏光鏡。里面甚至包括一個(gè)32-bit Windows操作系統(tǒng)的PC機(jī)。SpecEl可以探測一個(gè)圖層薄到0.1nm厚到5μm。另外，它可以提供折射指數(shù)到0.005°
SpecEl軟件和配備文件
在SpecEl軟件里，你可以改裝和保存實(shí)驗(yàn)方法的文件以做一步分析，然后生成一個(gè)配方，你可以選擇配方去做實(shí)驗(yàn)。
屏幕顯示的是SpecEl軟件示范Psi和Delta價(jià)值，你可以用來計(jì)算膜厚度，折射率和吸光率。
規(guī)格
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波段范圍 |
380-780nm（標(biāo)準(zhǔn)）或者450-900nm（任選的） |
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光學(xué)分辨率 |
4.0nm FWHM |
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精確度 |
厚度0.1nm；折射率0.005% |
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入射角 |
70° |
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薄膜厚度 |
1-5000nm單個(gè)透明薄膜 |
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斑點(diǎn)尺寸 |
2mm×4mm（標(biāo)準(zhǔn)）或者200μm×400μm（任選） |
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取樣時(shí)間 |
3-15s（最小） |
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動態(tài)測井 |
3s |
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機(jī)械公差（高度） |
+/-1.5mm，角度 +/-1.0° |
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涂層數(shù) |
最大到32層 |
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參考資料 |
無可用的 |
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