低散亂平行平面基板
●低散亂平行平面基板是一種精密拋光,面精度高表面粗糙度小的基板。它最適用于作為分光鏡,窗口,或激光反射鏡的基板使用。
●它不僅可作為窗口材料,也可用作測(cè)量其他光學(xué)元件的基準(zhǔn)平面。
材料 |
SFS(人造熔融石英)
CaF2(氟化鈣)
MgF2(氟化鎂) |
面精度測(cè)量用波長(zhǎng) |
632.8nm |
面精度測(cè)量法 |
使用Zygo激光干涉儀測(cè)量 |
有效尺寸范圍 |
實(shí)際尺寸的90% |
表面質(zhì)量 |
10-5(SQ)
20-10(CFU-MF) |
D【mm】 |
Ø25.4 Ø30 Ø50 |
t【mm】 |
3 or 5 | |