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光學(xué)平板
●光學(xué)平板的兩面都被精密拋光，它通常作為分光鏡或窗口等透過(guò)型元件，或被用作全反射鏡或光學(xué)測(cè)量中的基準(zhǔn)平面。
●我們提供三種材料類型的光學(xué)平板：BK7,SFS 和準(zhǔn)分子激光用 SFS。其中大部分產(chǎn)品有各種指標(biāo)的組合：形狀（圓形或方形），面精度（λ，λ/4，λ/10，λ/20），多種厚度和平行度。
●BK7基板常用于可見光和近紅外區(qū)。從紫外到近紅外，SFS的溫度穩(wěn)定性，耐熱性都很好。準(zhǔn)分子激光用SFS，用于高功率的準(zhǔn)分子激光 KrF（248nm）時(shí)，具有低螢光特性。
●去除拋光面的次表面缺陷（微小裂紋），對(duì)于改善膜的質(zhì)量，提高耐高功率激光的穩(wěn)定性很重要。我們盡可能地控制磨料，溫度和研磨過(guò)程，減少次表面缺陷。
注意
一般而言，當(dāng)一束強(qiáng)紫外光照射玻璃時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螢光，還會(huì)導(dǎo)致透過(guò)率下降。當(dāng)用于15mJ/cm2，1 x 108脈沖，400Hz的248 nm的KrF激光時(shí)，10 mm厚的準(zhǔn)分子激光用熔融石英玻璃可以滿足99.8%的內(nèi)部透過(guò)率。但是，這些條件不保證材料在248 nm時(shí)不產(chǎn)生螢光。
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材料 |
OPB：BK7
OPSQ：SFS（人造熔融石英）
OPSQK：準(zhǔn)分子激光用人造熔融石英 |
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面精度測(cè)量用波長(zhǎng) |
632.8nm |
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平行度 |
≤3分 |
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面精度測(cè)量法 |
Zygo激光干涉儀 |
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有效尺寸范圍 |
實(shí)際尺寸的90% |
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表面質(zhì)量 |
OPB：10-5
OPSQ、OPSQK：20-10 |
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類型 |
圓形、方形 |
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尺寸 |
可根據(jù)客戶要求訂做 | |
