激光譜線反射鏡
●激光譜線反射鏡是一種在基板上,順序鍍上不同折射率的多層電介質(zhì)膜的全反射鏡。
●多層電介質(zhì)膜幾乎沒有吸收,除部分紫外用反射鏡之外,其反射率可高達(dá)99%以上。
●此種膜層比Al+氟化鎂(MgF2)膜更耐強(qiáng)激光。
●反射波長(zhǎng)(區(qū)間)和入射角有關(guān)。
●可以提供3種類型激光譜線反射鏡。
●[窄帶型] 針對(duì)某一具體激光波長(zhǎng)的反射鏡,其設(shè)計(jì)入射角為45°。
●[中寬帶型] 具有中等程度帶寬的多譜線反射鏡,其設(shè)計(jì)入射角為45°。
●[寬帶型] 具有較寬帶寬的多譜線反射鏡,其設(shè)計(jì)入射角為45°。
材料 |
BK7
CFU(紫外用CaF2) |
光學(xué)膜 |
多層電解質(zhì)膜 |
面精度測(cè)量用波長(zhǎng) |
632.8nm |
面精度 |
λ/10、光學(xué)研磨(CFU) |
平行度 |
≤3分 |
入射角 |
45±3 |
表面質(zhì)量 |
20-10
60-40 |
有效尺寸范圍 |
實(shí)際尺寸的90% |
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