產(chǎn)品型號：ATLEX-LR
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
ATLEX-LR 系列適合低負荷使用，專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 而設(shè)計；激光為193nm 輸出優(yōu)化，同時具有非�？斓纳仙睾透叻逯倒β�。
產(chǎn)品特點：
· 軟電暈預(yù)電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風(fēng)冷，主動熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品參數(shù)：
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ATLEX-LR產(chǎn)品參數(shù)
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氣體介質(zhì)
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ArF
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單位
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波長
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193
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nm
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最大脈沖能量1
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12
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mJ
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能量穩(wěn)定選項輸出
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10
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mJ
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脈沖寬度2
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5
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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4 x 6
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mm
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光束發(fā)散角2(V x H)
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1 x 2
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mrad
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能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）
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< 2
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%
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尺寸（長x寬x高）
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540 x 470 x 370
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mm
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重量
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60
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kg
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冷卻
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Air
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電力需求,
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230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM |
