產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-1000-L
品牌名稱(chēng)：德國(guó)ATL Lasertechnik
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 電暈預(yù)電離
· 固態(tài)開(kāi)關(guān)
· 延長(zhǎng)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)氣體壽命（數(shù)月）
· 激光頭容積6 L
· 全部風(fēng)冷
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 集成4閥系統(tǒng)，便于氣體處理
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)，符合RoHS規(guī)范
· 模塊化設(shè)計(jì)/服務(wù)友好
產(chǎn)品參數(shù)：
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ATLEX-1000-L產(chǎn)品參數(shù)
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氣體介質(zhì)
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ArF
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KrF
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單位
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波長(zhǎng)
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193
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248
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nm
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高壓開(kāi)關(guān)技術(shù)
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固態(tài)開(kāi)關(guān)
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最大脈沖能量1
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10
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15
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mJ
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最大平均功率
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8.0
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10.0
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W
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最大重復(fù)頻率
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1000
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Hz
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脈沖寬度2
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5 – 8
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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6 x 4
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mm
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光束發(fā)散角2(V x H)
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2 x 1
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mrad
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能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）
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< 2
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%
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尺寸（長(zhǎng)x寬x高）
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600 x 415 x 567
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mm
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重量
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70
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kg
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冷卻
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Cooling Air / Optional Liquid
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電力需求
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230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
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所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測(cè)得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
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