產(chǎn)品型號：Beam'R2
產(chǎn)品ID：S-BR2-Si
品牌名稱：美國Dataray
狹縫掃描式光束質(zhì)量分析儀系統(tǒng)提供高分辨率，但是要求光束小于1μm并且價格要高于相機型光束分析儀。盡管不能給出光束圖像，但是在很多情況下XY或XYZ就可以滿足應用要求。
產(chǎn)品特點：
· 190至1150 nm，Si探測器
· 650至1800 nm，InGaAs探測器
· 1000至2300或2500 nm，InGaAs（擴展）探測器
· 端口供電，USB2.0，靈活的3米電纜，沒有電源磚
· 0.1μm采樣和分辨率
· 線性和對數(shù)X-Y輪廓
· 輪廓縮放和狹縫寬度補償
· 經(jīng)濟又準確
· M2選項 – 光束傳播分析、發(fā)散、聚焦
產(chǎn)品選擇：
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Beam’R2
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BeamMap2
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主要特征
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集成X和Y輪廓
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實時 XYZθΦ 測量和焦點查找
實時指向、發(fā)散和M2 測量
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接口
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USB 2.0 Port-powered
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CW or Pulsed?
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CW，脈沖最小 PRR（Si 探測器）≈ [500/（激光直徑μm）] kHz
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波長
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Si:190-1150 nm
InGaAs:650-1800 nm
Si+InGaAs:190-1800nm
Si+InGaAs,extended:190-2500nm
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X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ
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N/A
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最佳分辨率
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0.1 μm
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最小光束
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2 μm (Knife Edge mode)
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更新率
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5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz)
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M2 測量
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Yes - with M2DU-BR accessory
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Yes - real-time
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定位焦點
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Yes - with M2DU-BR accessory
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Yes - real-time
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指向/發(fā)散
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Yes - with M2DU-BR accessory
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Yes - real-time
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開關(guān)增益（選項 dB）
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32 dB
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參數(shù)
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參數(shù)值
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BeamMap2
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Beam'R2
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Comments
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波長可選范圍（nm）
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190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500
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Yes
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Yes
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Si, InGaAs, Si + InGaAs,
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被掃描光束直徑
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2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)
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Yes
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Yes
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Si + InGaAs, extended
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X-Y 輪廓及中心分辨率：
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0.1 μm 或者 0.05% 的掃描范圍
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Yes
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Yes
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精度:
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± <2% ± ≤0.5μm
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Yes
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Yes
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CW or Pulsed
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連續(xù)/脈沖 最小PRR ≈ [500/(激光直徑μm)]kHz
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Yes
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Yes
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光束對準準直
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± 1 mrad with BeamMap2 Colli Mate
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Yes
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-
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M2 測量
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1 to >20, ± 5%
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Yes
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-
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Beam Dependent
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實時更新
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5 Hz
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Yes
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Yes
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4 Z-plane hyperbolic fit
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最大功率＆輻照度
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1 W Total & 0.3 mW/μm2
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Yes
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Yes
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Adjustable 2-12 Hz
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增益范圍：
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32dB
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Yes
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Yes
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Metallic film on Sapphire slits
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