特性

◆     納米級分辨率

◆     無摩擦，無間隙

◆     剛度強(qiáng)，使用壽命長

◆     可選擇位置傳感功能進(jìn)行閉環(huán)控制

◆     真空兼容，可在高溫或低溫下操作

◆     機(jī)械接頭形式：螺紋，圓球，平頭

應(yīng)用

◆     通信，光纖調(diào)節(jié)

◆     顯微鏡微調(diào)，機(jī)械工程

◆     微系統(tǒng)技術(shù)，納米定位技術(shù)

◆     半導(dǎo)體設(shè)備，精密儀器

◆     閥門（真空管）

◆     度量衡/干涉量度學(xué)

◆     生命科學(xué)/生物技術(shù)

基本參數(shù)

◆熱膨脹調(diào)節(jié)系數(shù)（CTE）（軸向）：低電壓棧數(shù)：–3 ppm/°K

高電壓棧數(shù)：大約<+ 1 ppm/°K

◆     Defi nition的極性：（+）是指電壓極性平行陶瓷的極性

                    （-）是指電壓極性反平行對陶瓷的極性

◆電器電容：電器電容定值與低電壓的變化有關(guān)

◆標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)公差+/-20%

◆高功率力學(xué)材料

◆高穩(wěn)定性材料