我們的1000 W紫外大面積曝光光源包括近紫外(350 - 450 nm)、中紫外(260 - 320 nm) 和深紫外(220 - 260 nm)光源。近紫外是經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，可曝光大部分光刻膠；中紫外用于聚合物交聯(lián)以及新型光刻膠；深紫外主要用于深紫外光刻膠的研究。我們的照明器可輻照 2.13 x 2.13英寸 到 10 x 10 英寸的樣品。近紫外、中紫外和深紫外光源為HgXe燈，在工作平面上產(chǎn)生高度均勻的準(zhǔn)直光束。

特點(diǎn)：

• 高強(qiáng)度輸出

• 強(qiáng)度分布均勻的大面積準(zhǔn)直光束

• 高效帶外抑制

• 定時(shí)曝光

紫外大面積曝光光源技術(shù)參數(shù)：