FP-1高精密隔振平臺(tái)是一個(gè)大的平臺(tái)，它是由兩到三個(gè)SM-1負(fù)剛度高精密隔振平臺(tái)構(gòu)成的，F(xiàn)P-1與SM-1連接在一起，隔離地板的振動(dòng)；通過螺旋千斤頂板固定在地板上，以分散負(fù)載和配重。FP-1高精密隔振平臺(tái)底板臺(tái)面是一個(gè)很重的鋼板，這個(gè)系統(tǒng)可達(dá)到0.5Hz或更低的垂直固有頻率和水平固有頻率。FP-1高精密隔振平臺(tái)是專門為SEM、TEM和STEM而設(shè)計(jì)，制造的。所有的外部線路、軟管和電纜與隔離的負(fù)載是分離的，并鎖定內(nèi)部隔離器。(對(duì)大多數(shù)電鏡而言，外部線路、軟管和電纜對(duì)隔振系統(tǒng)的性能只有相當(dāng)小的影響)。

性能：

垂直固有頻率：0.5Hz

水平固有頻率：0.5Hz

在10Hz頻率的隔離效率：99.7%