|
LTHS2 |
運動范圍XY(µm) |
75 |
分辨率XY(nm) |
0,075 |
典型的噪聲基準 XY(nm) |
0,0075 |
全方位的重復性XY(nm) |
0,15 |
線性化(典型的) |
0,02% |
諧振頻率X / Y(Hz) |
1500/1000 |
剛度 (N/µm) |
2/2 |
最大負載(kg)-水平使用 |
0,5 |
最大負載(kg)-垂直使用 |
0,3 |
傳感器 |
Silicon HR sensor |
尺寸W x L x H (mm) |
152,5 x 190 x 18,5 |
材料 |
Al |
電纜長度(m) |
2 |
推薦控制器 |
Standard or High Speed | |
|