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產(chǎn)品說明：
大行程納米定位平臺采用了最高精度的壓電陶瓷驅(qū)動技術(shù)和高剛性低成本的設(shè)計技術(shù)。
特點：
● ESC系列平臺可被用于常溫和大氣壓環(huán)境，有些型號還可用于超高真空環(huán)境。
● ESC系列平臺采用了十字交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，其承載能力可高達數(shù)公斤，其俯仰，方位和轉(zhuǎn)動角度偏差小于0.1mrad。
● 同時，其最大行程可達50mm,單步進給量可小至50nm。另外，可選配的用于閉環(huán)控制的傳感器的分辨率達1nm。這個系列平臺備有多種形式，尺寸和行程。并可直接互相組合成多軸平臺。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
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名稱 |
X軸平臺 |
X軸平臺 |
X軸平臺 |
擺動平臺 |
擺動平臺 |
轉(zhuǎn)動平臺 |
轉(zhuǎn)動平臺 |
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型號 |
ECS3030 |
ECS3080 |
ECS5050 |
ECGt5050 |
ECGp5050 |
ECR3030 |
ECR5050 |
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閉環(huán)控制特性 |
分辨率 |
1nm |
1nm |
1nm |
0.000001° |
0.000001° |
0.00001° |
－ |
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重復(fù)定位精度 |
50nm |
50nm |
50nm |
±0.00005° |
±0.00005° |
±0.0005° |
－ |
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精度 |
＜0.01%
of travel range |
＜0.01%
of travel range |
＜0.01%
of travel range |
≒0.001° |
≒0.001° |
≒0.002° |
－ |
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開環(huán)控制特性 |
最小步進量 |
50nm |
50nm |
50nm |
0.0001° |
0.0001° |
0.0004° |
0.0002° |
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精密定位范圍 |
1.6μm |
1.6μm |
1.6μm |
0.0014° |
0.0011° |
0.012° |
0.006° |
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行程 |
20mm |
50mm |
30mm |
10° |
10° |
360° |
360° |
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臺面尺寸〔mm〕 |
30×30 |
30×80 |
50×50 |
50×50 |
50×50 |
30×30 |
50×50 |
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導(dǎo)軌形式 |
十字交叉滾柱 |
十字交叉滾柱 |
十字交叉滾柱 |
十字交叉滾柱 |
十字交叉滾柱 |
球軸承 |
球軸承 |
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自重〔kg〕 |
鋁合金型 |
0.029 |
0.078 |
0.070 |
0.137 |
0.137 |
0.28 |
0.1 |
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不銹鋼型 |
0.051 |
0.147 |
0.247 |
0.247 |
0.247 |
0.66 |
0.215 |
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最大速度 |
4.5mm/sec |
4.5mm/sec |
4.5mm/sec |
≒1°/sec |
≒1°/sec |
≒10°/sec |
≒5°/sec |
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承載能力（水平安裝時） |
9kg |
24kg |
15kg |
1kg |
1kg |
2kg |
2kg |
注：如選購了內(nèi)置傳感器的型號，可實現(xiàn)閉環(huán)控制。下訂單時，請在上面的標準型號末尾加注“/NUM”。 |
