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產(chǎn)品說明：
采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器，實(shí)現(xiàn)了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達(dá)1nm的壓電陶瓷平臺。
特點(diǎn)：
● 驅(qū)動機(jī)構(gòu)為壓電陶瓷，位置反饋采用數(shù)字位移傳感器，具有50×50mm開口部的超高精密定位的中空型XY平臺，適用于在顯微鏡下微動。
● 推薦使用控制器FINE-503驅(qū)動。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。選購測量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等， 可方便地構(gòu)建位置控制系統(tǒng)。
● 是各種顯微鏡，精密測量裝置，半導(dǎo)體檢測裝置，高精度曝光，掃描型干涉儀，圖像處理裝置，或相關(guān)生物用裝置的最佳選擇。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
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型號 |
 SFS-120XY(WA)
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行程 |
100μm±10％ |
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臺面尺寸〔mm〕 |
120×120 |
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驅(qū)動機(jī)構(gòu) |
壓電陶瓷 |
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自重〔kg〕 |
1.2 |
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理論分辨率（開環(huán)時(shí)）〔nm〕 |
1 |
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分辨率（閉環(huán)時(shí)）〔nm〕 |
10 |
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直線性〔％〕 |
－ |
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垂直度（水平方向）〔μm〕 |
1以下 |
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重復(fù)定位精度〔μm〕 |
0.1以下 |
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承載能力〔N〕 |
19.6（2.0kgf） |
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微小位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
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適用電纜 |
FINE-CA-3：壓電陶瓷用
DS1-CA-3：數(shù)字位移傳感器用 | |
