產(chǎn)品說(shuō)明:
采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器,實(shí)現(xiàn)了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達(dá)1nm的壓電陶瓷平臺(tái)。
特點(diǎn):
● 采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器,可實(shí)現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺(tái)。
● 采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),開(kāi)環(huán)控制時(shí)的行程為90μm〜100μm,理論分辨率達(dá)1nm。
● 位置檢測(cè)采用了數(shù)字位移傳感器(頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器),閉環(huán)控制時(shí)的顯示分辨率為10nm。
● 使用FINE系列控制器,可實(shí)現(xiàn)高速定位。
● 重復(fù)驅(qū)動(dòng)SFS-H(直動(dòng))系列平臺(tái),可達(dá)10〜15Hz的頻率。若使用FINE-01γ的模擬信號(hào)驅(qū)動(dòng)時(shí),可達(dá)25Hz。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) |
SFS-H40X(CL) |
SFS-H40Z(CL) |
SFS-H60X(CL) |
SFS-H60XY(CL) |
行程 |
90μm±15% |
100μm±15% |
100μm±15% |
100μm±15% |
臺(tái)面尺寸〔mm〕 |
40×40 |
40×40 |
60×60 |
60×60 |
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
自重〔kg〕 |
0.28 |
0.28 |
0.4 |
0.43 |
理論分辨率(開(kāi)環(huán)時(shí))〔nm〕 |
1 |
1 |
1 |
1 |
分辨率(閉環(huán)時(shí))〔nm〕 |
10 |
10 |
10 |
10 |
直線(xiàn)性〔%〕 |
0.3以下 |
0.3以下 |
0.3以下 |
0.3以下 |
垂直度(水平方向)〔μm〕 |
1 |
1 |
1 |
1 |
重復(fù)定位精度〔μm〕 |
0.1以下 |
0.1以下 |
0.1以下 |
0.1以下 |
承載能力〔N〕 |
9.8(1.0kgf) |
6.7(0.7kgf) |
19.6(2.0kgf) |
14.7(1.5kgf) |
微小位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
適用電纜 |
電纜(2m)附屬 |
電纜(2m)附屬 |
FINE-CA-3:壓電陶瓷平臺(tái)用
DS1-CA-3:數(shù)字位移傳感器用 |
FINE-CA-3:壓電陶瓷平臺(tái)用
DS1-CA-3:數(shù)字位移傳感器用 |
SFS-H60XYZ(CL) 和SFS-H60Z(CL)精密壓電陶瓷平臺(tái)技術(shù)參數(shù):
行程 |
100μm±15% |
100μm±15% |
臺(tái)面尺寸 |
60×60mm |
60×60mm |
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
自重 |
0.63kg |
0.33kg |
理論分辨率(開(kāi)環(huán)時(shí)) |
1nm |
1nm |
分辨率(閉環(huán)時(shí)) |
10nm |
10nm |
直線(xiàn)性誤差 |
<0.5% |
<0.3% |
垂直度(水平方向) |
1μm |
1μm |
重復(fù)定位精度 |
<0.15μm |
<0.1μm |
承載能力 |
9.8N(1.0kgf) |
9.8N(1.0kgf) |
微小位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
適用電纜 |
FINE-CA-3:壓電陶瓷平臺(tái)用 DS1-CA-3:數(shù)字位移傳感器用 |
FINE-CA-3:壓電陶瓷平臺(tái)用 DS1-CA-3:數(shù)字位移傳感器用 | |