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遠(yuǎn)心掃描透鏡 遠(yuǎn)心F-Theta掃描透鏡 266nm, 355nm UV遠(yuǎn)心掃描透鏡
概述：
PCB鉆孔是電子加工行業(yè)里其中一個重要的環(huán)節(jié)。通過激光掃描鉆孔系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)高效率即大面積掃描覆蓋。 我們針對PCB鉆孔應(yīng)用開發(fā)了一系列的高端遠(yuǎn)心F-Theta掃描透鏡。在應(yīng)用上需要微米級聚焦光斑，全場區(qū)需要一致的孔徑大小，圓度，孔深和垂直度。因此在光學(xué)設(shè)計上我們采用了非球面來校正光斑相差。遠(yuǎn)心掃描透鏡--遠(yuǎn)心F-Theta掃描透鏡可以使聚焦光束的主光線在任何視場角的情況下都與焦平面垂直。實(shí)現(xiàn)激光精密加工、3D-再構(gòu)和極高的精確性。
技術(shù)參數(shù)：
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波長(nm) |
有效焦距 (mm) |
掃描角
〔°〕 |
掃描范圍
(mm) |
入瞳
(mm) |
長度(mm) |
窗口
大小 |
工作距離
(mm) |
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266 |
30.1 |
14.6 |
10*10 |
6.0 |
55.5 |
- |
28.9 |
|
266 |
55.0 |
15.0 |
20*20 |
6.0 |
64.5 |
42x2 |
51.2 |
|
266 |
100.0 |
21.0 |
50*50 |
5.0 |
101.9 |
83x2 |
135.6 |
|
266 |
158.0 |
17.0 |
55*55 |
10.0 |
133.0 |
- |
250.0 |
|
266 |
200.0 |
12.0 |
80*80 |
8.0 |
155.5 |
- |
294.1 |
|
355 |
32.0 |
10.2 |
8*8 |
10.0 |
55.0 |
32x1.5 |
19.3 |
|
355 |
60.0 |
12.3 |
18*18 |
6.0 |
52.9 |
46x2 |
62.6 |
|
355 |
80.0 |
19.0 |
35*35 |
6.0 |
67.1 |
66x2 |
104.5 |
|
355 |
100.0 |
23.0 |
60*60 |
6.0 |
93.7 |
95x2 |
150.4 |
|
355 |
103.0 |
25.0 |
50*50 |
9.0 |
66.5 |
80x2 |
137.3 |
|
355 |
109.0 |
24.2 |
63*63 |
6.0 |
87.2 |
115x2.5 |
151.4 |
|
355 |
115.0 |
21.3 |
60*60 |
6.0 |
97.9 |
106x3 |
154.0 |
|
355 |
167.0 |
14.4 |
60*60 |
10.0 |
117.8 |
100x2 |
222.6 |
|
355 |
254.0 |
14.0 |
86*86 |
6.0 |
173.5 |
136x3 |
145.0 |
|
355 |
360.0 |
18.5 |
160*160 |
10.0 |
88.0 |
252x5 |
499.3 | |
