NanoMap-O三維非接觸光學(xué)表面輪廓儀
我們的高分辨掃描白光干涉儀是一個最精確、易于使用的光學(xué)計(jì)量學(xué)系統(tǒng)。NanoMap-O系列光學(xué)輪廓儀廣泛地用于表征各種表面參數(shù),像表面粗糙、尺度、臺階高度、薄膜厚度等。所有的測量都是快的非接觸的。
結(jié)合高質(zhì)量的激光器、透鏡、低機(jī)器噪聲和技術(shù),它能夠完成二百多萬像素的圖像,具有0.001nm的分辨率。數(shù)據(jù)分析SPIP軟件是工業(yè)上最有用的軟件,廣大用戶能夠做各種應(yīng)用的表面分析。
特征
▪ 非接觸基的技術(shù)
▪ 多余二百萬像素的圖像
▪ 0.001nm的分辨率
▪ Z軸范圍從nm到50mm
▪ XY掃描范圍達(dá)到150x150mm
▪ 超高分辨率數(shù)字成像傳感器同工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)比較,傳遞13倍的數(shù)據(jù)
▪ LED光源壽命多于15年
應(yīng)用
▪ 臺階高度測量
▪ 表面粗糙測量
▪ 定量的抓和挖的特征,呈現(xiàn)深度、寬度和體積
▪ 平面或曲率的測量
▪ 二維薄膜應(yīng)力測量
▪ 薄膜厚度
▪ 表面輪廓- 缺陷、形貌等 |