激光光束分析的附件：濾光片
為了增加Si或紫外增強Si探測器的可用的功率范圍，所提供的濾光片被置于盒子中。在M²Beam and FocusGage系統(tǒng)情況下，濾光片可以再刀口和傳感器之間插入。這個特殊的安排將防止光束畸變，因為它在掃描平面之后。使用的一般指導(dǎo)原則如下：
l 沒有濾光片：功率達到5mW
l NG4濾光片：功率達到50mW（大約10%的透射）
l NG9濾光片：功率達到1W（大約0.5%的透射）
實際衰減將依賴于波長和濾光片而改變，實際透射值是在已校正的濾光片文件中找到，其中包括軟件。
請分別參考NG4和NG9的典型透過曲線。
Accessories for BeamOn system
高功率激光器衰減到100W/cm2的專門附件
SAM1 – 取樣范圍為3x10-3 的取樣器，光譜范圍： 350nm - 1100nm.
SAM2 --取樣范圍為3x10-6 的取樣器，光譜范圍： 350nm - 1100nm.
RDC – 在可見區(qū)1x2.5因子的光束減少器。 |
